Система PlasmaPro1000 Stratum PECVD - высокопроизводительная система для осаждения пленок из газовой фазы, обеспечивает огромные преимущества в производстве LED устройств.
PlasmaPro1000 Stratum PECVD - спроектирована специально для осаждения пассивационных слоев в LED устройствах.
Размер подложки | Количество подложек |
---|---|
150mm/6" | 7 |
100mm/4" | 15 |
50mm/2" | 61 |