Описание:

Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O - это многоканальный измеритель на основе кристалла кварца.
Прибор SQM160 использует апробированную технологию INFICON датчика на основе кристалла кварца для измерения скорости напыления и толщины слоя в процессах напыления тонких плёнок. Этот прибор в стандартном исполнении имеет вводы для двух датчиков, предусмотрена возможность использования дополнительных вводов для четырёх датчиков. Через два вывода для устройства регистрации передаётся аналоговый сигнал, характеризующий скорость напыления и толщину плёнки.
Измерительные вводы можно назначить разным материалам, настроить для двухкристального датчика или усреднить сигналы для контроля напыления с более высокой точностью в больших системах. Режим выборки скорости позволяет продлить срок службы датчика с затвором в процессах напыления плёнок с высокой скоростью. Оператор может выбрать отображение значений скорости напыления в следующих единицах: 0,1 Ä/с или 0,01 Ä/с. Кроме того, можно выбрать отображение значений массы (Mass) или частоты (Frequency). Наличие четырёх выводов реле позволяет прибору SQM160 контролировать затворы детектора и источника, передавать установки толщины плёнки и времени, а также сообщать о неработоспособности кристалла. Дискретные вводы позволяют осуществлять пуск/останов и обнуление показаний внешними сигналами.
Прибор SQM160 в стандартном исполнении имеет электрический соединитель для передачи данных по стандарту RS-232 и ПО под Windows®, позволяющие настраивать прибор с ПК. ПО служит для настройки и сохранения всех параметров, управления прибором и сохранения данных процесса в XLS-файле. Для расширения возможностей передачи данных по стандартам USB и Ethernet можно воспользоваться соответствующими дополнительными электрическими соединителями.

 

 

Простая эксплуатация

Для начала измерения толщины и скорости напыления нажмите кнопку Zero, чтобы обнулить последнее показание толщины, затем кнопку Shutter, чтобы открыть затвор датчика или источника. Большие яркие светодиодные индикаторы одновременно отображают результаты измерений скорости напыления и толщины плёнки, которые видны на значительном удалении от прибора. После достижения нужного значения толщины или истечения заданного периода, затвор закрывается, и загораются соответствующие сигнализаторы на передней панели. В любой момент можно нажать кнопку Xtal Life, чтобы узнать оставшийся срок службы кристалла.
Чтобы настроить прибор для хранящихся в памяти 99 плёнок используются два меню. Для доступа к меню нажмите кнопку Program. Выбор и изменение значений параметров осуществляется вращением установочной ручки. На главном индикаторе отображаются подсказки меню, а значения отображаются на вспомогательном индикаторе (Time).

 

 

Высокая точность, низкая стоимость

Стандартная разрешающая способность по частоте составляет 0,12 Гц при четырёх показаниях в секунду. Режим высокой точности повышает разрешение до 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду. Температурная стабильность составляет 2 ppm во всём рабочем диапазоне. Ни один другой прибор в данной ценовой категории не обладает такой комбинацией высокой точности и высокой стабильности!

 

 

Преимущества SQM16O

• В стандартном исполнении – два измерительных канала с возможностью четырёх дополнительных
• Аналоговые выводы для регистрации скорости напыления и толщины плёнки
• Режим высокой точности: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
• Электрический соединитель стандарта RS-232 (дополнительно USB или Ethernet)
• Контроллеры, измерители и принадлежности для технологии напыления тонких плёнок

Усовершенствованное ПО обеспечивает наглядное отображение данных процесса напыления тонких плёнок для облегчения документирования и анализа процесса. Резервное копирование настроек SQM160 обеспечивает согласованность процессов.

 

 

Информация для заказа

Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры и буквы.

 

S

Q

M

1

6

0

-

a

b

c

 

a	Базовая модель контроллера Стандартное разрешение – S Высокое разрешение - H
b	Число каналов В стандартном исполнении – 2 Дополнительно - 6
c	Интерфейс В стандартном исполнении: RS-232 – R Дополнительно: USB – U Дополнительно: Ethernet - E

 

 

Типичная система измерения напыления тонких плёнок SQM160

В составе типичной системы измерения напыления тонких плёнок SQM: измеритель SQM160 и, по меньшей мере, один датчик и один вакуумный ввод (для каждого датчика).

 

 

Принадлежности

 

782-900-008	Комплект для установки одного прибора SQM160 в 19" стойку
782-900-014	Комплект для установки двух приборов SQM160 в 19" стойку
782-502-062	Дополнительная плата для 4 датчиков (преобразует 2-канальный SQM160 в 6-канальный)
782-900-042	Комплект для высокого разрешения (повышает стандартную разрешающую способность SQM160 – устанавливается изготовителем)
782-900-040	Дополнительная плата для передачи данных по стандарту USB
782-900-041	Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet

 

 

Дополнительные принадлежности и запасные части

Принадлежности

782-900-017	Ручной пульт регулирования мощности, витой кабель 3 м
782-900-007	Расширитель стойки: установка одного прибора 5 ¼ в 19-дюймовую стойку
782-900-016	Переходник для стойки: установка двух приборов 5 ¼ в 19-дюймовую стойку
782-900-008	Расширитель с форм-фактором «31/2" Full Rack» стойки: для установки одного прибора SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку
782-900-014	Переходник с форм-фактором «31/2" Half Rack» для стойки: для установки двух приборов SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку
782-900-026	Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet

 

 

Генераторы и кабели

782-934-003-10	Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011, 782-902-012-10
782-934-003-25	Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25
782-934-003-50	Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50
782-934-003-99	Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99
782-900-010	Дистанционный генератор
782-902-011	Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка
782-902-012-10	Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка
782-902-012-25	Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка
782-902-012-50	Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка
782-902-012-99	Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка
782-902-022	Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot
782-932-022	Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16"
782-932-020	Обжимная муфта 1/8"
782-932-021	Обжимная муфта 3/16"

 

 

Технические характеристики

 

Вводы QCM для датчиков	В стандартном исполнении: 2; дополнительно: 4
Диапазон частот	1-6,5 МГц
Разрешающая способность по частоте	В стандартном исполнении: ±0,12 Гц при 4 показаниях в секунду Дополнительно: ±0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
Стабильность частоты	общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C
Выбираемый период измерения	0,10-2 с (с шагом 0,05 с)
Фильтр измерений	1-20 показаний
Количество плёнок в памяти	99
Аналоговые выводы	два: 0-5 В постоянного тока, значения скорости напыления и толщины
Дискретные вводы/выводы	Два ввода и четыре вывода реле
Цифровой интерфейс	В стандартном исполнении: RS-232 Дополнительно: USB или Ethernet
Электропитание	100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт
Соответствие требованиям СЕ	Оборудование класса 1, 73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD
Установка	½ стойка, высота 3 ½, 89 x 213 x 197 мм
Масса	2,7 кг
ПО под Windows® (в комплекте)	Обеспечивает дистанционную настройку и управление, функции регистрации данных – см. снимки экрана ниже