Самый универсальный высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп!
Комбинированная линза Apreo позволяет получать беспрецедентное разрешение и материальный (Z) контраст за счет сочетания электростатической и магнитной иммерсионной технологий.
Apreo это высокопроизводительная платформа для исследования наночастиц, катализаторов, порошков и наноустройств, в том числе, для работы с магнитными образцами. Традиционные сканирующие электронные микроскопы высокого разрешения обладают либо электростатическими линзами, либо с магнитной иммерсией. Впервые FEI объединяет оба способа в одном инструменте. Преимущества данной компоновки выходят далеко за рамки производительности любой другой колонны. И тот и другой метод служит для формирования пучка в тонкий зонд для получения изображения при низких ускоряющих напряжениях и направления детектируемых электронов обратно через линзу в колонну. За счет комбинации магнитной и электростатической иммерсии в одной электронной пушке достигается более высокая разрешающая способность и добавляются уникальные возможности для фильтрации сигнала. Комбинированная электростатически-магнитная конечная линза обеспечивает разрешение 1,0 нм при 1 кВ (без активации функции замедления пучка или монохроматора).
Характеристика |
Значение |
Характеристика |
Значение |
Электронная оптика |
Термополевой эмиттер Шоттки. Диапазон тока пучка: от 0,1 пА до 400 нA |
В режиме низкого вакуума, оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля |
- 1,2 нм при 15 кВ - 1,8 нм при 3 кВ |
Разрешение, нм: |
Столик: |
||
Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, иммерсионный режим |
- 0,8 нм при 30кВ (STEM) - 0,9 нм при 15 кВ - 1,0 нм при 1 кВ - 1,2 нм при 500 В - 2,5 нм при 100 В |
Тип |
Эвцентрический с гониометром, моторизованный по 5 осям |
Перемещение по осям XY |
110 мм х 110 мм |
||
Повторяемость |
< 3,0 мкм (при наклоне 0˚) |
||
Моторизованное перемещение по оси Z |
65 мм |
||
Высокий вакуум с оптимальной рабочей дистанцией, режим без поля |
- 0,8 нм при 30 кВ (STEM) - 1,0 нм при 15 кВ - 1,3 нм при 1 кВ |
Вращение |
n х 360˚ |
Наклон |
-15˚…+90˚ |
||
Максимальная высота образца |
Зазор до 85 мм в точке эксцентрики |
||
Диапазон энергий |
От 20 В до 30 кВ |
Максимальная масса образца |
500 г при любом положении столика (до 2 кг при наклоне 0˚) |
Функция замедления пучка |
от -4000 В до +600 В |
Максимальный размер образца |
Диам. 122 мм для вращения при любых перемещения по Х,У (возможна работа и с большими образцами, но в условиях ограниченного вращения) |
Apreo может регистрировать до четырех сигналов одновременно из любой комбинации из имеющихся детекторов или сегментов детектора. |