Микроскопы линейки NovaNanoSEM отличаются ультравысокой разрешающей способностью в режимах высокого и низкого вакуумов. Данный тип микроскопа предназначен для исследования для непроводящих, легко заряжающихся материалов и/или газящих образцов в наномасштабе.
Для расширения аналитических возможностей микроскоп может быть оснащен энергодисперсионным (EDS), волнодисперсионным спектрометрами (WDS), а также EBSD-системой, что позволяют проводить качественный, количественный, фазовый и структурный анализ материала.
Для выполнения функции электронно-лучевой литографии микроскоп может оснащаться 16-ти битовым генератором образа и бланкером луча.
Nova NanoSEM 450 & 650 |
||
Разрешение,высокий вакуум |
15 кВ (TLD) |
1.0 нм |
Разрешение,низкий вакуум |
3 кВ и 30 Па (Helix) |
1.8 нм |
Ток луча |
До 200 нA |
- |
Диапазон напряжения на образце |
От 20 В до 30 кВ |
- |
Столик |
X x Y x Z (мм) |
110 x 110 x 25 |