Описание:
В современной технологии исследования и обработки материалов все большее внимание уделяется квантовым методам, предполагающим использование управляемых пучков частиц для модификации, резки или формирования поверхностей с заданным рельефом.
В настоящее время наибольшую популярность получили методы, основанные на использовании сфокусированных потоков ионов. Чаще всего для этой цели используются ионы галлия, которые, будучи сфокусированными в тонкий пучок, в ряде случаев позволяют, помимо модификации поверхности, еще и визуализировать наноразмерную морфологию даже лучше, чем традиционная электронная микроскопия. Совмещение в одном приборе как ионного, так и электронного источников делают этот прибор универсальным исследовательским и технологическим инструментом, хотя и имеющим намного более высокую стоимость, чем обычный растровый электронный или ионный микроскоп.
Таким образом, сфокусированные пучки ионов в настоящее время используются для:
- визуализации наноразмерных поверхностей
- ионной резки, с целью исследования внутренней структуры образца, исследовании внутренних дефектов
- высокоточная ионная обработка, включая ионную полировку, при изготовлении деталей микромеханизмов, оптики высших классов точности (точности долей длины волны), в микро- и наноэлектронике и др.
- для изготовления элементов различных прецизионных систем с заданной микро- и нанотопографией рельефа поверхности
- для пробоподготовки в просвечивающей электронной микроскопии атомарного разрешения
Teneo - высочайшая производительность для получения изображений с высоким разрешением и аналитических приложений.
Teneo обеспечивает получение контрастных изображений с высоким разрешением для материалов, которые в обычных условиях трудно исследовать – магнитные материалы, стекла и другие непроводящие образцы. Это позволяет быстро решать поставленные задачи, одновременно сохраняя высочайшую эффективность при работе с традиционными образцами SEM.
Ключевые особенности
- Получайте больше данных с неудобных образцов: Лучшие в свое классе разрешение и контраст обеспечивают получение большее количество данных и информации, даже для магнитных материалов.
- Решайте задачи быстрее: Высокая пропускная работа в режиме высокого вакууме и низкого вакуума при токе пучка вплоть до 400 нА.
- Более легкий захват деталей: Самый широкий спектр детектируемых сигналов благодаря технологии FEI Trinity
- Повышение удобства и уверенности: Высокий уровень автоматизации делает FEI Teneo легким в использовании и поощряет пользователей к экспериментам
- Настройте микроскоп под Ваши задачи: Гибкая конфигурация SEM позволяет легко настроить микроскоп под Ваши конкретные требования
- Получение изображения при высоком вакууме
При оптимальном WD:
- 0.8 нм при 30 кэВ STEM
- 1.0 нм при 15 кэВ
- 1.4 нм при 1 кэВ
- Пушка с полевой эмиссией Шотки высокой стабильности
- Срок службы источника 12 месяцев
- Простая установка пушки и легкое техническое обслуживание – автоматический прогрев, автозапуск, не требуется механических настроек
- Диафрагмы с автоматическим прогревом
- Непрерывный контроль за током пучка и оптимизация диафрагмы
- Двойное смещение столика при сканировании
- 600 геометрия линзы объектива
- Диапазон токов пучка: от 1 пА до 400 нА
- Энергия падающих частиц: от 20 эВ – 30 кэВ*
- Диапазон ускоряющих напряжений: 200 эВ – 30 кэВ