SEM EVO LS - идеальный растровый электронный микроскоп для исследований в области науки о жизни. Объекты, которые крайне трудно исследовать на обычных электронных микроскопах, легко исследуются на микроскопах Carl Zeiss серии EVO LS. Микроскопы данной серии позволяют исследовать образцы в их естественном состоянии, в естественной среде, включая возможность регулировки давления водяных паров до 3000 Па. Благодаря опциональному охлаждающему столику, можно легко исследовать влажные образцы без дефектов от высушивания, а также визуально наблюдать процессы гидратации и дегидратации.
Все микроскопы серии EVO в своей конструкции использую передовые технологии TTL и BeamSleeve, что позволяет получать несравнимо лучшее качество изображения в режиме переменного давления (VP).
Есть три модификации микроскопа EVO LS:
Все микроскопы EVO® демонстрируют современную технологию, включающую опыт и знания, полученные за многие десятилетия. Колонна микроскопа разрабатывалась для наибольшего удобства управления и управляется, по большей части, автоматически последним поколением программного обеспечения OptiBeam®. Каждая электронно-оптическая линза имеет отдельный независимый источник питания.
TTL и BeamSleeve®Технология BeamSleeve® уменьшает поток газа через линзу (TTL), чтобы гарантировать максимальную изоляцию электронной колонны от газа компенсации заряда в камере микроскопа.
Beam Gas Path Length (BGPL) - расстояние, по которому взаимодействуют электронный луч и газ камеры. BeamSleeve® минимизирует этот путь для достижения наилучшего качества изображения и рентгенодисперсионного микроанализа.
Все микроскопы серии EVO® могут работать с ультракоротким BGPL в 1 мм.
В сочетании с любым детектором технология EVO® BeamSleeve® обеспечивает большую четкость и яркие изображения при низких ускоряющих напряжениях. А в случае использования EDS - более точное воспроизведение спектра.
В режиме низкого давления происходит рассеивание электронов вызван столкновением электронов с молекулами воздуха в камере. Рассеянные электроны способствуют второстепенному сигналу EDS и ухудшают отношение сигнал/шум. На изображении спектр линий алюминия, полученного с поперечного сечения слоя краски корпуса автомобиля, с использованием технологии BeamSleeve® (синяя линия) и без BeamSleeve® (красная линия).
Разрешение | 3 нм (2нм) | @ 30 кВ, SE, W (LaB6) | |
4.5 нм | @ 30 кВ, BSD (VP режим) | ||
15 нм | @ 30 кВ, 1нА, LaB6 | ||
20 нм (15 нм) | @ 1 кВ, SE, W (LaB6) | ||
10 нм | @ 3 кВ, SE | ||
Ускоряющее напряжение | 0.2 – 30 кВ | ||
Увеличение |
EVO LS10 |
EVO LS15+25 |
|
< 7 – 1 000 000x | < 5 – 1 000 000x | ||
Размер поля зрения | 6 мм на аналитическом рабочем отрезке (AWD) | ||
X-ray анализ | 8.5 мм AWD и 35 градусах наклона детектора | ||
Режимы OptiBeam ® | Разрешение, анализ, глубина резкости, поле, «рыбий глаз» | ||
Диапазон давления | 10 – 3000 Па |
||
Доступные детекторы | BSD – детектор обратнорассеяных электронов | ||
ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли | |||
VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима | |||
EPSE – детектор вторичных электронов для EP режима | |||
SCD – измеритель тока через образец | |||
STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим) | |||
CL –катодолюминесцентный детектор | |||
Камера образца |
EVO LS10 |
EVO LS15 |
EVO LS25 |
310 мм(Ø) x 220 мм(h) | 365 мм(Ø) x 275 мм(h) | 420 мм(Ø) x 330 мм(h) | |
5-ти осевой моторизованный столик образца |
EVO LS10 |
EVO LS15 |
EVO LS25 |
X = 80 мм, Y = 100 мм, | X = 125 мм, Y = 125 мм, | X = 130 мм, Y = 130 мм, | |
Z = 35 мм, T =-10 ° +90º, | Z = 50 мм, T = -10° + 90º, | Z = 50 мм, T = -10° +90º, | |
R = 360º (непрерывно) | R = 360º (непрерывно) | R = 360º (непрерывно) | |
Управление мышью | Управление мышью | Управление мышью | |
или дополнительным джойстиком и | или дополнительным джойстиком и | или дополнительным джойстиком и | |
с панели управления | с панели управления | с панели управления | |
Максимальная высота образца |
EVO LS10 |
EVO LS15 |
EVO LS25 |
100 мм | 145 мм | 210 мм | |
Возможные модификации | BeamSleeve®, режим расширенного давления (EP), напуск паров воды в камеру | ||
Размер изображения | 3072 x 2304 точек, режим однократного накопления и непрерывного отображения | ||
Система управления | SmartSEM® GUI управление мышью и клавиатурой | ||
Windows® XP многоязычная операционная система | |||
Дополнительная информация | Питание: 100 – 240 В, 50 или 60 Гц одна фаза, охлаждение воздушное |